クリーンルームの清浄度規格が色々あって、良くわかりません。

どのような規格があるのでしょうか？

お問い合わせありがとうございます。

クリーンルームの空気清浄度規格は、FED-STD-209D（米国連邦規格）が長く使用されてきましたが、

現在は、ISO14644-1が国際規格となっています。

代表的には以下の規格があります。

1.JIS方式

JIS B9920の清浄度クラスの表示で1m³中の0.1μｍ以上の粒子数を10のべき乗で表したときの指数で表します。

    表示方式：クラス1～クラス8

2.FED-STD-209D（米国連邦規格）

単位は英国単位（FS単位）。0.5μｍ以上粒子を基準とし1ft³中の粒子数を表示します。

    表示方式：クラス１、10、100、1,000、10,000、100,000

3.FED-STD-209E（米国連邦規格）

単位はメートル法（IS単位）を優先し英国単位（FS単位）を併記します。清浄度クラスは0.5μｍ以上粒子を基準とし、粒子数を10X乗個/m3で表しX値をクラスとします。メートル法使用を明確とするためMを付加しクラスM（X）とします。

    表示方式：クラスM1～クラスM7

4.ISO規格

日米欧を中心に初の世界統一規格として作成が進められ「クリーンルームと付帯する制御環境」を規定した次の二つから成ります。

    ISO 14644-1 Part1 「空気清浄度のクラス分け」

    ISO 14644-2 Part2 「試験及びモニター手法」

ISOクラス表示では基準粒子径は0.1μm、基準体積は1m3でJIS方式を使用。

    表示方式：ISOクラス1～ISOクラス9

ISO規格とFED-STD-209Dの比較は下表の通りです。

上限濃度の計算式

Cn=10^N×（0.1/D)^2.08

　Cn：みなし粒度以上の浮遊物小粒子の１立米あたりの最大許容濃度

　N：ISO分類（1～9）

　D：みなし粒度

計算例：みなし粒度 0.5μm、ISO Class6の場合

　　10⁶×（0.1/0.5)^2.08＝35,168≒35,200

１ｆｔ³だと

　　35,168×0.3048³＝995.85≒1,000